計算了半導(dǎo)體潔凈室在AGV PORT打開、關(guān)閉不同狀態(tài)下室內(nèi)的靜態(tài)氣流場分布，以及考慮吊車運(yùn)動時對氣流的影響程度，對潔凈室的指標(biāo)進(jìn)行了評價，其室內(nèi)外壓差、流線平行度、非單向流度和下限風(fēng)速均滿足設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)，確定了EFU的設(shè)置方案。

半導(dǎo)體潔凈室室內(nèi)氣流組織設(shè)計需要根據(jù)做要求的潔凈室級別，確定采用何種送風(fēng)、回風(fēng)形式以及送風(fēng)口、回風(fēng)口的位置布置等，需要保證靜態(tài)工況和動態(tài)工況都達(dá)到設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)。潔凈室內(nèi)部結(jié)構(gòu)復(fù)雜，包含眾多零部件及孔板結(jié)構(gòu)，還要考慮吊車運(yùn)動的影響，模型的簡化、處理和網(wǎng)格劃分十分困難。

進(jìn)行CFD仿真計算，其前處理模塊可以快速的進(jìn)行幾何清理和簡化，并自動生成高質(zhì)量的體網(wǎng)格，結(jié)合網(wǎng)格重構(gòu)功能計算得到了靜態(tài)和動態(tài)工況下的速度場、壓力場分布和其他性能指標(biāo)。

客戶以往的設(shè)計多是參照設(shè)計規(guī)范和工程師的個人經(jīng)驗(yàn)，常常會出現(xiàn)實(shí)際建造的潔凈室達(dá)不到設(shè)計要求的情況，采用CFD仿真方法進(jìn)行輔助設(shè)計，可以在建造之前對方案進(jìn)行驗(yàn)證并優(yōu)化，處理靜態(tài)工況外還可以考慮動態(tài)的影響，極大的提升了方案設(shè)計的可靠性。